具有集成氮空位中心的微加工光纤集成金刚石磁力计
摘要
文献链接具有集成氮空位中心的微加工光纤集成金刚石磁力计：应用物理快报：第 120 卷，第 19 期 (scitation.org)
摘要
小型化是基于金刚石氮空位中心的传感器向实际应用发展的趋势。我们使用标准的微细加工工艺展示了一种紧凑型金刚石磁场传感器设备。将单晶金刚石板嵌入由三个硅芯片堆叠形成的空腔中。热压键合在硅‑硅和金刚石‑硅界面上实现，确保机械稳定性。基本传感器组件的具体构造体积约为 10* 10 1.5 mm3 。通过将梯度折射率透镜待尾纤的光纤集成到传感器设备，532 nm 激光和发射的荧光共享激发和检测的公共路径。用于施加微波功率的ω形传输线直接制作在金刚石表面上。集成传感器设备显示出 2.03 nTHz1/2 的优化灵敏度，与裸金刚石相比，荧光收集效率提高了两倍以上。这种传感器用于测量由家用电器开关引起的磁场变化。
